真空泵滤芯学名真空泵油雾分离器（简称为油雾分离器）。主要作用：过滤真空泵油与气体，使真空泵排气口排出清洁干净的空气。
BUSCH普旭真空泵滤芯系列:
DA1052,0532140153,0532140154,0532140155,0532140156,
0532140157,0532140159,0532140160,0532000509,0532000508,
0531000002,0531000001,0532000004,0531000005,
0532000006,0532000002,0532000005,0532000003,
0532127417,0532000034,0532000032,
0532000031,0532000507、0532121854、
0531000507、0531000508、0531000509、
0531000001、0531000002、0531000005、
WK712、W940、W950、W962
常用的规格对应主机零件号有：
BECKER贝克尔真空泵滤芯系列：
96541200000，9654160000，9654150000，9654090000，9654090000，9654090000
，909578，84040107，909514，909510，909514，909519，909518，909505，84040112，84040207
84040110000，9095060000， 909505，909507…
BUSCH普旭真空泵滤芯系列：
0532140157，0532140159，0532000509，0532000508，0531000002，0531000001，0532000004，0531000005，0532000006，0532000002，0532000005，0532000003，0532127417，0532000034，0532000032，0532000031，0532000507
LEYBOLD莱宝真空泵滤芯系列：
971431121，971431120，71064773，71064763，71417300,71232023，71405318，71018858，71046112，71213283，71212293 、3985502
RIETSCHLE里其乐真空泵滤芯系列：
731400，731401，731399，730936
730937，730516-0000，730514，731142，515310，730506，513457，730507，317957，730504，731148，731143，730513，730533-0000，730516
730507-0000，909503，730542，730517，730080，730502，515310，730506，730508，513457，730519，317895，317957，731468-R
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